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Keithley吉时利4200A-SCS半导体参数分析仪Tektronix
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产品详情
4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
- 100 fA测量分辨率
- 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
- 100 μF负载电容
- 四象限操作
- 2 线或 4 线连接
- AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 频率范围
- ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
- 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
- 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
- 200 MSa/s，5 ns 采样率
- ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
- 瞬态波形捕获模式
- 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
- 两个高速脉冲电压源通道
- ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
- 任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
- 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
- 把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
- 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
- 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
- 降低电缆电容效应
为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪
使用强大的Clarius 软件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试，结果清晰明了
4200A-SCS 仪器和模块
| 型号 | 说明 | 主要测量 | 范围 | 测量分辨率 |
| 4200-SMU | 中等功率源测量单元 |
DC I-V 超低频率 C-V 准静态 C-V |
±100 mA, ±210 V | 0.2 μV, 100 fA |
| 4210-SMU | 高功率源测量单元 | ±1 A, ±210 V | 0.2 μV, 100 fA | |
| 4200-PA | 远程前端放大器模块 | 扩展所有 SMU 的电流范围 | 0.2 μV, 10 aA | |
| 1 kHz - 10 MHz | ||||
| 4210-CVU | 电容电压单元 |
AC 阻抗 C-V, C-f, C-t |
±30 V 内置DC 偏置装置(60 V 差分) 使用 SMU 扩展直流偏置电压至 |
- |
| ±210V | ||||
| 4200A-CVIV |
I-V/C-V 多通道 开关模块 |
DC I-V 和 C-V 自动切换 | - | - |
|
脉冲式 I-V SegmentARBR® 多电平脉冲 瞬态波形捕获 |
±40 V (80 V p-p),
±800 mA 200 MSa/s 同时测量电流和电压 |
|||
| 4225-PMU | 超快速脉冲测量单元 | 2048 个唯一段 | 75 nA | |
| 20 ns 脉宽仅输出时 | ||||
| 60 ns 脉宽输出同时测流时 | ||||
| 4225-RPM |
远程前段放大器 / 开关模块 |
DC I-V、C-V、脉冲式 I-V 间自动切换 |
扩展 4225-PMU 单元的电流范围 | 200 pA |
| 4220-PGU | 高压脉冲发生器单元 |
脉冲式电压源 Segment ARB® 多电平脉冲 |
±40 V (80 Vp-p) 2048 个唯一段 |
- |
| 接地单元 | 内置低噪声接地单元 | - |
三同轴连接 : 2.6 A 接线柱 : 9.5 A |
- |
提取或测量参数列表实例
| CMOS 晶体管 | Id-Vg, Id-Vd, Ig-Vg, Vth, Vtlin, Sub-Vt, Rds-on, breakdown, capacitance, QSCV, Low-frequency CV, self-heating reduction and more |
| BJT | Ic-Vc, Vcsat, Gummel plot, capacitance, βF, αF |
| 非易失性存储器 | Vth, endurance test, capacitance |
| 纳米尺寸器件 | Resistance, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc |
| 分立元器件 | Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, Vfdiode, Vrdiode, capacitance |
| 材料 | Van der Pauw, 4-point collinear resistivity, Hall Effect |
| 光伏器件 | Iforward, Ireverse, HiR, LoR |
| 功率器件 | Pulsed Id-Vg, pulsed Id-Vd, breakdown |
| 可靠性 | NBTI/PBTI, charge pumping, hot carrier injection, V-Ramp, J-Ramp, TDDB |
1. Clarius Software
全新Clarius Software 用户界面，您可以把对科研的理解提 升到全新水平。4200A-SCS 包括Clarius+ 软件包，可以执 行几乎任何类型的I-V、C-V 和脉冲式I-V 特性分析测试。 Clarius Software 用户界面提供了触滑或点击控制功能，为现 代半导体、材料和工艺特性分析提供高级测试定义、参数分析、 图表绘制和自动化功能。
主要特点- 随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件， 缩短测试开发时间
- 业内第一台内置测量视频的仪器，测试视频由全球应用工 程师提供，分为4 种语言，缩短学习周期
- pin to pad 接触检查，确保测量可靠
- 多种测量功能
- 数据显示、分析和代数运算功能
专家视频，降低特性分析复杂度
观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频，迅速掌握应用， 缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助，在发生意想不
到的结果或对怎样设置测试存在疑问时，将为您提供指引。 Clarius Software 短专家视频支持四种语言（英语、中文、日
语和韩语），可以迅速让你洞察先机。
大量随时可以使用的应用测试可供选择
通过Clarius 库中装备的450 多项应用测试，您可以选择或 修改预先定义的应用测试，加快特性分析速度，或从一开始
简便地创建自定义测试。只需三步，Clarius Software 就可以 引导新用户像专家一样完成参数分析。
实时结果和参数
自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，加快获得所 需信息的速度。您不必担心数据丢失，因为所有历史数据都 会保存下来。
无需示波器检验脉冲测量
脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数，确认脉冲 式I-V 测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V 或波形捕获模式，
进行基于时间的电流或电压测量，而无需使用外部示波器。
典型应用
MOSFET, BJT 晶体管
材料特性分析
非易失性存储设备
电阻率系数和霍尔效应测量
NBTI/PBTI
III-V 族器件
失效分析
纳米器件
二极管和pn 联结
太阳能电池
传感器
MEMS 器件
电化学
LED 和OLED
