RTS-7型二探针测试仪

产品详情

RTS-7型二探针测试仪

专用于测试半导体材料纵向电阻率的仪器，统计分析测试数据并生成纵向分布图。
电阻率测量范围：0.00001～100000Ω·cm。
此二探针测试仪主机的设计可以同时实现四探针测试方法，一机双用。二探针测试仪加配四探针测试台和四探针探头，可以变成四探针测试仪使用,一台仪器主机同时实现二探针和四探针测试方法。

RTS-7型二探针测试仪性能

是运用二探针测量原理的多用途综合测量设备，该仪器按照国家标准及美国材料与试验协会（ASTM）SEMI MF397-1106（二探针法测定硅棒电阻率的标准方法）推荐的材料验收检测方法“两探针法”，专用于测试半导体材料纵向电阻率的仪器。
由主机、测试台、二探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
此二探针测试仪主机的设计可以同时实现四探针测试方法，一机双用。二探针测试仪加配四探针测试台和四探针探头，可以变成四探针测试仪使用,一台仪器主机同时实现二探针和四探针测试方法。
采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。本仪器适用于半导体材料厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。

RTS-7型二探针测试仪技术参数

测量范围	电阻率：0.00001～100000Ω.cm；
恒流源	电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
二探针探头基本指标	间距：1.59mm（可按用户测试需求选配其它间距二探针探头）；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.2%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.86mm；探针压力：3±1N/单针；
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
二探针测试架（选配）	配置T-2A测试架，两端电极直径20mm，最大长度300mm。配置T-2B测试架，两端电极直径50mm，最大长度300mm。 (备注：其它尺寸测试架可按用户测试需求更改尺寸)。
四探针测试台和四探针探头（选配）	此二探针测试仪主机的设计可以同时实现四探针测试方法，一机双用。二探针测试仪加配四探针测试台和四探针探头，可以变成四探针测试仪使用,一台仪器主机同时实现二探针和四探针测试方法。
测试模式	可连接电脑测试也可不连接电脑测试
软件功能（选配）	软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化。并将测试数据生成纵向分布图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。
计算机通讯接口	并口
标准使用环境	温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；