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产品详情
吉时利5位半6517B静电计/高阻表提供的精 度和灵敏度指标高于其他同类型仪表。它还具有 完备的功能，使测量高阻和绝缘材料电阻率变得 简单。6517B具有425读数/秒的测试速率，比同 类型的静电计快很多，可以提供快速、简易的弱 电流测量能力测量弱电流。
主要特点:
- 电阻测量可达1018 Ω
- 电流测量范围10aA - 20mA
- 最小电流量程输入端压降<20μV
- 200TΩ 输入阻抗
- <3fA 偏置电流
- 测试速率高达425 rdgs/s
- 噪声0.75fA p-p
- 内置±1kV电压源
- 独特的高电阻测量电压反接方法
- 可选的插件式扫描卡
出众的性能指标
半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低 电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅 0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于 接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入 阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确 度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试 和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm) 及表面电阻率(Ω/square) 的测量。
测量范围宽
6517B型静电计/高阻表具有全自动量程，超过电流、电阻、电压和电荷测量满量程：
• 电流测量范围：10aA - 20mA
• 电压测量范围：1μV - 200V
• 电阻测量范围：1Ω - 1018Ω
• 电荷测量范围：1fC - 2μC
改进的高灵敏度测量
许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率（面电阻率和体电阻率）。传统测 量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律(R=V /I)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，但利用 吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。
即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为 困难。由于压电效应、电容效应和偏振效应，绝缘材料、聚合物和塑料通 常都显示出背景电流。这些背景电流一般等于或大于施加电压产生的电流。 在这些情况下，其测量结果往往是不稳定的，生成不准确的电阻或电阻率 读数甚至错误的负值。吉时利6517B型静电计/高阻表旨在解决这些问题， 并为各种材料和元件提供一致、可重复和精准的测量，特别是与8009型电 阻测试夹具一起使用时。
变换极性法
6517B型静电计/高阻表使用变换电极法，实际上消除了样本的背景电 流。并剔除背景电流的第一级和第二级漂移。变换电极法施加一个正极性 电压，然后在指定延迟（测量时间）后测量电流。接着，改变电压极性， 使用相同的延迟，重新测量电流。连续重复这个过程，并根据4个最新电 流测量结果的加权平均值计算出电阻。对大多数材料来说，通过7次反转(即 舍弃前三个读数)，这个方法通常生成可高度重复、准确的电阻（或电阻 率）测量结果。例如，利用8009型测试夹具0.3%的重复度，可对1mm厚 的1014Ω-cm材料样本进行测量，在15秒测试周期内其背景电流低于200fA。
与数字多用表类似的简单操作
6517B型静电计/高阻表采用与数 字多用表类似的简易操作，可通过前 面板，利用单一按钮控制电阻测量等 重要功能。还可以通过内置IEEE-488 接口实施控制，因此，可利用计算机 控制器通过总线对所有功能进行编程。
高精度高阻测量
6517B型静电计/高阻表的诸多特 性和能力有助于确保高阻测量应用的 准确度。例如，其内置电压源简化了 绝缘器电阻率和所用电源电压电平之 间关系的确定。它还非常适合电容器 泄漏和绝缘电阻测量、印刷电路板表 面绝缘电阻测试、电阻器电压系数测 试以及二极管泄漏特性分析。
温度和湿度测试
湿度和温度可能严重影响材料的 电阻率值。为了帮助您准确比较在不 同情况下测得的读数，6517B型静电 计/高阻表提供内置K型热电偶和一个 可选的6517-RH型相对湿度探头。其 内置数据存储缓冲器允许记录和调用 具有时间、温度和相对湿度Stamping 的读数。
附件扩展测量能力
利用多种可选附件，可以扩展 6517B型静电计/高阻表的应用，并改 进其性能。
扫描卡。利用两张扫描卡，可以简化 多个信号的扫描。每张卡都可以轻松 插入仪器后面板的插槽。6521型扫描 卡提供10个低电平电流扫描通道。 6522型扫描卡提供10个高阻抗电压开 关或低电流开关通道。
测试夹具。8009型电阻率夹具是一款 受保护的测试夹具，用于样本材料的 体电阻率和表明电阻率测量。它包括 按ASTM标准构建的不锈钢电极。该 夹具的电极尺寸已在6517B型静电计 /高阻表预编程，因此无需计算其数 值，可以稍后手动输入。这个附件旨 在保护用户避免接触潜在的危险电压 ——自动开启夹具盖，关闭6517B型 静电计/高阻表电压源输出。
应用
6517B型静电计/高阻表非常适合物 理、光学、纳米技术和材料科学等研究 领域的低电流和高阻抗电压、电阻和电 荷测量。其极低的电压降非常适合太阳 能电池测量，其内置电压源和低电流灵 敏度使之成为基于聚合物的纳米线等高 阻测量的出众解决方案。其高速和易用 性使之成为质量控制、产品工程和生产 测试（包括漏流、击穿和电阻测试）应 用的极好选择。利用6517B型静电计/高 阻表的电压反转方法，可以大幅改进对 绝缘材料的体电阻率和表面电阻率测量。 6517B型静电计/高阻表还非常适合电化 学应用，如离子选择性电极和pH测量、 电导电池和电势测定。
电压
| 5½位量程 | 分辨率 |
准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+计数) |
温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C |
| 2 V | 10 μV | 0.025 + 4 | 0.003 + 2 |
| 20 V | 100 μV | 0.025 + 3 | 0.002 + 1 |
| 200 V | 1 mV | 0.06 + 3 | 0.002 + 1 |
常模抑制比（NMRR）：2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。
50Hz或60Hz2。
共态抑制比（CMRR）：直流时>120dB，50Hz或60Hz。
输入阻抗：>200TΩ，并联20pF电容，保护电容<2pF(1MΩ零检查)。
前置放大器输出端的小信号带宽: 典型值100kHz (–3dB)。
注：
1. 适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
2. 线路同步。
电流
| 5½位量程 | 分辨率 |
准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+计数) |
温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C |
| 20 pA | 100 aA2 | 1 + 30 | 0.1 + 5 |
| 200 pA | 1 fA2 | 1 + 5 | 0.1 + 1 |
| 2 nA | 10 fA | 0.2 + 30 | 0.1 + 2 |
| 20 nA | 100 fA | 0.2 + 5 | 0.03 + 1 |
| 200 nA | 1 pA | 0.2 + 5 | 0.03+ 1 |
| 2 μA | 10 pA | 0.1 + 10 | 0.005 + 2 |
| 20 μA | 10 pA | 0.1 + 5 | 0.005 + 1 |
| 200 μA | 1 nA | 0.1 + 5 | 0.005 + 1 |
| 2 mA | 10 nA | 0.1 + 10 | 0.008 + 2 |
| 20 mA | 100 nA | 0.1 + 5 | 0.008 + 1 |
输入偏置电流：<3fA（典型值）。
温度系数 = 0.5fA/°C，20pA量程。
输入偏置电流噪声：<750aA p-p (capped input)，带宽0.1Hz～10Hz， 阻尼。数字滤波器= 40读数，量程20pA。
输入电压降（典型温度±1°C）：
在20pA, 2nA, 20nA, 2μA与20μA量程时，<20μV。
在200pA, 200nA与200μA量程时，<100μV。
在2mA量程时，<.2mV。在20mA量程时，<5mV。
输入电压降温度系数：在pA, nA与μA量程时，<10μV/°C。
前置放大器建立时间(达到最终值10%)典型值：在pA量程时， 为0.5s (阻尼关闭)和2.0 s (阻尼开启)。在nA量程时，为15ms (阻尼关闭)；在μA量程时，为1ms
(阻尼关闭)；在mA量程时， 为500μs (阻尼关闭)。
常模抑制比（NMRR）：在50Hz或60Hz3时，在各个量程均>60dB。
注：
1. 适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
2. aA = 10-18A，fA = 10-15A
3. 线路同步。
电阻(常规方法)
| 量程 | 5½位分辨率 |
准确度 （10-100%量程） 18° - 28°C(1年) ±(%读数+计数) |
温度系数 （10-100%量程） 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C |
自动电压源 | 电流量程 |
| 2 MΩ | 10 Ω | 0.125 + 1 | 0.01 + 1 | 40 V | 200 µ A |
| 20 MΩ | 100 Ω | 0.125 + 1 | 0.01 + 1 | 40 V | 20 µ A |
| 200 MΩ | 1 k Ω | 0.15 + 1 | 0.015 + 1 | 40 V | 2 µ A |
| 2 GΩ | 10 k Ω | 0.225 + 1 | 0.035 + 1 | 40 V | 200 n A |
| 20 GΩ | 100 k Ω | 0.225 + 1 | 0.035 + 1 | 40 V | 20 n A |
| 200 GΩ | 1 MΩ | 0.35 + 1 | 0.110 + 1 | 40 V | 2 n A |
| 2 TΩ | 10 MΩ | 0.35 + 1 | 0.110 + 1 | 400 V | 2 n A |
| 20 TΩ | 100 MΩ | 1.025 + 1 | 0.105 + 1 | 400 V | 200 pA |
| 200 TΩ | 1 GΩ | 1.15 + 1 | 0.125 + 1 | 400 V | 20 pA |
注：
1. 自动电压源欧姆性能指标，适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 =
10个读数。如果需要用户可选电压，请使用手动模式。手动模式显示通过测 得电流计算出的电阻(高达1018Ω)。其准确度等同于电压源准确度加选定电流量程的准确度。
前置放大器建立时间：在电流性能指标中，为前置放大器建立时间增加电压源建立时间。
超过20GΩ的范围需要根据载荷特性额外设定。
电阻(变换极性法)
变换极性序列可以补偿待测材料或期间的背景（偏移）电流。最大容许偏移为所用电流量程 的满刻度。
使用吉时利8009夹具
可靠性：ΔIBG ×
R/VALT +
0.1% (1σ) (仪器温度常数±1°C)。
准确度：(VSRCErr
+ IMEASErr
× R)/VALT
其中：ΔIBG是测量得到的来自样本和测试夹具的典型背景电流噪声。
VALT是使用的变换极性电压。
VSRCErr是使用VALT作为设置的电压源准确度(单位：V)
。
IMEASErr是使用作为VALT /R读数的电流计准确度(单位：A)。
电压源
| 量程 | 5½位分辨率 |
准确度 (1年) 18° - 28°C ±(%读数+计数) |
温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C |
| 100V | 5 mV | 0.15 + 10 mV | 0.005 + 1 mV |
| 1000V | 50 mV | 0.15 + 100 mV | 0.005 + 10 mV |
最大输出电流：
100V量程：±10mA, 在<14mA时，采取硬件短路电流保护。
1000V量程：±1mA, 在<1.4mA时，采取硬件短路电流保护。
建立时间：
100V量程：到达额定准确度<8m s。
1000V量程：到达额定准确度<50ms。
噪声(典型值)：
100V量程：<2.6mV rms。
1000V量程：<2.9mV rms。
电荷
| 量程 | 5½位分辨率 |
准确度 （1年）1,2 18° - 28°C ±(%读数+计数) |
温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C |
| 2 nC | 10 fC | 0.4 + 5 | 0.04 + 3 |
| 20 nC | 100 fC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
| 200 nC | 1 pC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
| 2 μC | 10 pC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
注：
1. 性能指标适用于电荷刚采集后。增加
|QAV| (4fA + _____ ) TA RC
其中，TA =
电荷归零与测量之间的时间周期（单位：秒）
QAV = 在TA周期测得的平均电荷，RC
= 300,000（典型值）。
2. 适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
输入偏置电流: 典型值时，<4fA。温度系数= 0.5fA/°C，量程2nC。
温度（热电偶）
| 热电偶种 类 | 量程 |
准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+计数) |
| K | –25°C ～ 150°C | ±(0.3% + 1.5°C) |
注：1. 不包括探测误差，Tcal ± 5°C, 1 PLC积分时间。
湿度
| 量程 |
准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+%RH)) |
| 0 - 100% | ±(0.3% + 1.5°C) |
注： 1. 必须增加湿度探测准确度。对于6517-RH型，为±3% RH，探测环境温度高达65°C， 不超过85°C。
6517B型静电计/高阻表后面板
IEEE-488总线实现
实现：SCPI (IEEE-488.2, SCPI-1999.0)。
从触发到完成读数：150ms典型值，包括外部触发器。
RS-232实现：支持：SCPI 1991.0。波特率: 300, 600, 1200, 2400,4800, 9600, 19.2k, 38.4k,
57.6k与115.2k。
流程控制：无，Xon/Xoff。
连接器：DB-9 TXD/RXD/GND。
