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吉时利keithley 2450/2470/2461/2460源表SMU源测量单元/泰克tektronix图形化系列SMU仪器提供四象限精密电压和电流源/负载，外加直观触摸屏用户界面上的测量,可同时提供 10 fA - 10 A 脉冲电流和/或 100nV - 200V 电压（实现 1000W 脉冲和 100W 直流总功率）并对其进行测量
吉时利keithley 6514高阻计/低电流静电计,泰克tektronix6514/E测量电阻10mΩ-200GΩ,电压10µV-200V,电流100aA-20mA
尘埃粒子计数器Kanomax 3887L两通道测试0.5、5.0μm;手持式尘埃粒子计数器Kanomax3887L计数报告符合国家GB/T16292-1996检测标准,日本加野Kanomax 3887L尘埃粒子计数器自动判定洁净度级别
