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RTS-3型手持式四探针测试仪
测量范围： 电阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方块电阻：0.1～19999Ω/□； *.锂电池供电，一次充电可连续使用100小时；
是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M
标准而设计的，专用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
RTS-3型手持式四探针测试仪技术参数
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测量范围
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电阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方块电阻：0.1～19999Ω/□； |
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恒流源
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电流量程分为100μA、1mA两档，两档电流连续可调 |
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数字电压表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%； 显示：以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；极性、超量程自动显示； |
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四探针探头基本指标
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间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； |
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四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证) |
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模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) |
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整机测量最大相对误差
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(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
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整机测量标准不确定度
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≤5% |
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外型尺寸
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185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高) |
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重量
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350g |
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电源
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锂电池，一次充电可连续使用100小时； |
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标准使用环境
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温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无高频干扰； 无强光直射； |
